(2024年4月1日)
プラントエンジニアリングセンター副センター長兼プロジェクトソリューション統括部長（製作部長）原田幹久
ガスエンジニアリングセンター供給技術部長（中部支社技術部長）大岡寛典
中部支社技術部長（タイヨウニッポンサンソインディアバイスプレジデント）石井浩
電子機材ユニット電子機材機器事業部機器営業部長（海外営業部長）稲田真之
電子機材ユニットグローバル・プランニング部長、杉原健一
生産・物流ユニット技術統括部長、生産技術部長、高山孝治
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(2022年4月1日)
技術開発ユニット開発企画統括部開発業務部長、東智靖
技術開発ユニットつくば開発センター所長（R&D・ユニットつくば研究所副所長兼同位体プロジェクトマネジャー）神辺貴史
技術開発ユニットつくば開発センター化学合成開発部長（R&D・ユニットつくば研究所化学合成技術部長）福田健治
技術開発ユニットつくば開発センターエレクトロニクス開発部長（R&D・ユニットつくば研究所電子機材技術部長）富田修康
技術開発ユニットつくば開発センター深冷分離開発部長（R&D・ユニットつくば研究所深冷分離技術部長）木原均
技術開発ユニットつくば開発センター分析技術部長（技術統括ユニット分析技術センター所長）関哲也
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(2021年11月1日)
R&Dユニットつくば研究所長、執行役員R&Dユニット長、武内雅弘
R&Dユニットつくば研究所副所長、神辺貴史
北関東支社鹿島支店長、つくば支店長、西村和明
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(2017年10月1日)
開発本部プロジェクト推進統括部同位体プロジェクトマネジャー（つくば研究所分離技術部長）神辺貴史
開発本部つくば研究所分離技術部長、木原均
メディカル事業本部ＳＩ事業部ＳＩイノベーションセンター所長、横山順
北関東支社業務部長、山本繁之
日本メガケア常務執行役員管理本部副本部長（北関東支社業務部長）会田隆之
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