(2024年3月31日)
退任（取締役）小田島匠
退任（専務執行役員CMO・生産本部長）石塚伸之
退任（執行役員/産業機器事業部長 兼 Nikon Metrology NV取締役社長）中山正
退任（執行役員社長室）梶原望
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(2022年4月1日)
専務執行役員（常務執行役員）CMO生産本部長、石塚伸之
常務執行役員FPD装置事業部長兼ガラス事業室担当（執行役員開発統括部長）戸口学
執行役員FPD装置事業部開発統括部長（第二開発部長）宮崎聖二
執行役員、カスタムプロダクツ事業部長、江守茂
半導体装置事業部生産統括部長（FPD装置事業部副事業部長）執行役員、金原寿郎
FPD装置事業部製造（生産本部技術統括部長）東福宏明
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(2021年4月1日)
CTO（デジタルソリューションズ事業部担当）代表取締役兼社長執行役員兼CEO、馬立稔和
CAO兼CRO経営管理本部長（人事・総務本部長兼リスク管理・経営監査部担当）代表取締役兼専務執行役員、小田島匠
経営監査部・サステナビリティ戦略部・ITソリューション本部担当、取締役兼専務執行役員兼CFO、徳成旨亮
常務執行役員兼CMO（執行役員半導体装置事業部副事業部長）生産本部長、石塚伸之
常務執行役員社長室長兼光学本部担当（同光学本部長）大村泰弘
執行役員、半導体装置事業部開発統括部長、森田真弘
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(2020年4月1日)
デザインセンター・デジタルソリューションズ事業部担当（次世代プロジェクト本部・コンポーネント事業室担当）代表取締役兼社長執行役員兼CEO、馬立稔和
代表取締役兼専務執行役員経営監査部・情報セキュリティ推進部・知的財産本部担当（取締役兼常務執行役員）人事・総務本部長、小田島匠
取締役（代表取締役兼副社長執行役員兼CFO）岡昌志
専務執行役員BtoB事業統括兼ガラス事業室担当（常務執行役員産業機器事業部・エンコーダ事業室担当）FPD装置事業部長、浜田智秀
常務執行役員（執行役員）映像事業部長、池上博敬
専務執行役員兼CFO財務・経理本部担当、徳成旨亮
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