(2019年6月27日)
取締役、市村誠
取締役、永野毅
取締役、寺浦康子
監査役、天野秀樹
監査役、矢野正敏
退任（常務）石井俊太郎
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(2019年6月3日)
取締役、市村誠
常勤監査役、田中俊司
顧問（取締役相談役）山本隆章
退任（取締役）石井俊太郎
退任（常勤監査役）菅野政吉
退任（監査役）藤井孝二
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(2018年4月1日)
会長（取締役）中村吉伸
社長（副社長）技術開発本部長、小林哲（こばやし　てつ）
副社長、渡辺和成
常務執行役員、取締役、大熊右泰
取締役、坂本和彦
取締役、市村誠
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(2017年11月21日)
事業開発センター長、代表取締役兼専務執行役員精密メカトロ事業本部長、石井俊太郎
技術開発本部長、取締役兼執行役員、小林哲
生技開発センター長（生産技術本部長）執行役員精密メカトロ事業本部副本部長兼精機事業部長、木原弘之
技術開発本部コア・テクノロジー開発室部長（研究開発センターデバイス技術開発部長）吉田宜史
技術開発本部アドバンスト・テクノロジー開発室部長（研究開発センター要素技術開発部長）須田正之
技術開発本部マテリアル・プロセス開発室部長（研究開発センター基盤技術開発部長）恒吉潤
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