(2015年6月26日)
実験、取締役兼常務執行役員開発本部長、宇野浩
取締役、三菱マテリアル顧問、田口洋一
顧問（執行役員開発本部副本部長兼実験）真下亮
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(2014年6月27日)
生産本部長、取締役兼執行役員、神田克美
取締役（実験）常務執行役員兼開発本部長、宇野浩
常勤監査役（取締役兼常務執行役員生産本部長）村田敬
監査役（オーテックジャパン監査役）金井敏夫
退任（監査役）佐藤伸悟
同（同）鷲沢和彦
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