(2023年4月1日)
新規事業担当（事業企画担当）常務執行役員、大塚純二
上席執行役員水素関連事業担当（SCREENファインテックソリューションズ上席執行役員エネルギー事業担当）吉野裕文
滋賀地区担当、執行役員、百田雅人
執行役員コーポレートマーケティング担当、コーポレートマーケティング室長、檜垣吉秀
IT企画室IT企画部長、西村聡
同ITセキュリティ部長（SCREENセミコンダクターソリューションズ経営戦略統轄部IT推進部長）小林知之
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(2022年4月1日)
上席執行役員法務・知財・コンプライアンス担当（執行役員）朝永正雄
上席執行役員総務・人事担当兼人事室長（SCREENグラフィックソリューションズ執行役員）白石康人
彦根事業所担当（総務・人事担当兼人事室長）執行役員、百田雅人
コーポレートマーケティング室長（SCREENセミコンダクターソリューションズシニア・マーケティング・エグゼクティブ）檜垣吉秀
総務室長、井藤徹也
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(2021年4月1日)
専務広報・IR担当（常務）最高財務責任者、近藤洋一
シニアフェロー（最高技術責任者）常務、灘原壮一
常務執行役員事業企画・IM事業担当兼コーポレートマーケティング室長（SCREENセミコンダクターソリューションズ執行役員兼SCREENSPEGermany社長）大塚純二
常務執行役員（上席執行役員）石川義久
上席執行役員（執行役員）吉岡正喜
経理・財務室経理部長、執行役員経理・財務室長、宮川明彦
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(2020年4月1日)
第五技術開発室長、執行役員、木瀬一夫
経営企画室経営企画部長、執行役員経営企画室長、樋口義之
執行役員秘書室・サステナブル経営担当（秘書室長）朝永正雄
コーポレートマーケティング室長（GPS室長）杉本憲司
秘書室長（SCREENファインテックソリューションズ事業統轄部長）百田雅人
経営企画室製造企画部長、清水正喜
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