(2024年7月1日)
精機事業本部FPD装置事業部副事業部長兼次世代事業開発統括部長（FPD装置事業部開発統括部長）執行役員、宮崎聖二
精機事業本部商品戦略部長、久保岳士
精機事業本部次世代事業開発統括部第一開発部長（FPD装置事業部開発統括部先端技術開発部長）鈴木智也
精機事業本部次世代事業開発統括部第二開発部長、鬼頭義昭
精機事業本部半導体装置事業部副事業部長（開発統括部長）白田陽介
精機事業本部半導体装置事業部NEXT推進室長（開発統括部第四開発部長）新井寿典
...続きを見る

(2022年1月1日)
半導体装置事業部副事業部長（開発統括部長）執行役員、森田真弘
財務・経理本部副本部長、松本武史
半導体装置事業部開発統括部長、白田陽介
カスタムプロダクツ事業部営業部長、千葉明広
...続きを見る

(2018年8月1日)
半導体装置事業部生産・技術統括部カスタマーソリューション部長、若本信二
ニコンプレシジョンに出向（半導体装置事業部生産・技術統括部カスタマーソリューション部長）白田陽介
...続きを見る

(2014年9月1日)
業務本部ロジスティクス部長、小林稔
半導体装置事業部開発統括部第一開発部長（次世代開発部長）柴崎祐一
半導体装置事業部技術統括部長（開発統括部第一開発部長）川口良一
半導体装置事業部技術統括部カスタマーソリューション部長、白田陽介
...続きを見る