(2022年4月1日)
常務執行役員（執行役員）電子機材ユニット長兼基盤事業支援ユニット副ユニット長、高木正治
執行役員、経営企画・ICT・ユニット長、竹内聡一郎
電子機材ユニット副ユニット長兼電子機材海外事業部長（九州支社長）執行役員、相田智之
ガスエンジニアリングセンター長（つくば研究所長）執行役員技術開発ユニット長、武内雅弘
プラントエンジニアリングセンター副センター長兼企画業務（業務統括ユニット長）執行役員、東剛
理事 メディカルユニット長（バイオ・メディカル事業部長兼事業推進部長）古海敏恵
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(2021年4月1日)
技術全般担当（エンジニアリング本部長）取締役兼専務執行役員、上原正弘
常務執行役員コーポレートユニット長（執行役員）取締役人事部長、亘聡
工業ガスユニット長兼基盤事業支援ユニット長（産業ガス事業本部長）常務執行役員ガス事業部長、栗下敏一
常務執行役員プラントエンジニアリングセンター長（執行役員エンジニアリング本部副本部長兼PEセンター所長）佐藤豊幸
常務執行役員技術統括ユニット長（執行役員技術本部長）三木健
イノベーションユニット長（イノベーション事業本部長）執行役員、小林邦裕
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(2019年2月1日)
オンサイト・プラント事業本部プラント事業部長、ASU営業部長、稲森武則
オンサイト・プラント事業本部オンサイト事業部長、オンサイト営業部長、千田健一郎
エンジニアリング本部PEC設計部長（オンサイト・プラント事業本部オンサイト事業部長）湯沢茂
エンジニアリング本部PEC副所長（設計部長）田村雅洋
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(2016年7月1日)
オンサイト事業部長（営業統括部副統括部長兼オンサイト営業）柳川徹
オンサイト事業部企画（営業統括部海外オンサイト企画）古賀公貴
オンサイト事業部オンサイト営業、千田健一郎
プラント事業部長（営業統括部長兼プラント営業）長井匡久
プラント事業部ＡＳＵ営業、稲森武則
プラント事業部ＳＣＥ営業（プラント・エンジニアリングセンター宇宙・低温機器統括部営業）撫原浩嗣
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