(2019年6月19日)
東京エレクトロンエージェンシー取締役兼東京エレクトロンUSホールディングス取締役兼東京エレクトロンヨーロッパ取締役兼東京エレクトロンコリア監事兼東京エレクトロン台湾監事兼東京エレクトロンシンガポール取締役兼東京エレクトロン上海監事兼東京エレクトロン上海ロジスティックセンター監事兼東京エレクトロン昆山監事（東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ監査役兼東京エレクトロン九州監査役兼東京エレクトロン宮城監査役）取締役兼専務執行役員、布川好一
東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ監査役兼東京エレクトロン九州監査役兼東京エレクトロン宮城監査役兼東京エレクトロンBP監査役、常勤監査役、田原計志
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(2019年6月18日)
取締役（監査役）布川好一
取締役、池田世崇
取締役、三田野好伸
社外取締役、江田麻季子
監査役（顧問）田原計志
退任（取締役）東哲郎
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(2018年10月1日)
Tokyo Electron India Private Ltd.Member of the Board、札幌事業所長、三岡貴史
（Tokyo Electron India Private Ltd. Member of the Board）取締役・専務執行役員特命担当・業務改革プロジェクト副担当、堀哲朗
Tokyo Electron India Private Ltd. 　President-cum-Managing Director、Tokyo Electron Singapore Pte. Ltd. 　President & Managing Director、伊藤秀樹
（Tokyo Electron India Private Ltd. 　President-cum-Managing Director）顧問、田原計志
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(2018年7月1日)
ＣｏｒｐｏｒａｔｅＩｎｎｏｖａｔｉｏｎ本部長（事業本部長）社長兼ＣＥＯ、河合利樹
生産技術部門担当（第二開発生産本部長兼調達・生産企画室長）取締役兼専務執行役員、北山博文
人事・総務・ＣＳＲ本部長兼法務・コンプライアンス本部長（人事・総務本部長兼コンプライアンス担当）取締役兼常務執行役員長、久保達也
フィールドソリューション事業本部長（ＦＳＢＵＧＭ）取締役兼常務執行役員、春原清
ＣｏｒｐｏｒａｔｅＭａｒｋｅｔｉｎｇ担当（グローバル・フィールド本部統括本部長）常務執行役員、堤秀介
ＧｌｏｂａｌＳａｌｅｓ本部長兼ＧｌｏｂａｌＳａｌｅｓ本部ＧＭ（グローバル・フィールド本部統括副本部長兼リージョン戦略企画本部長）常務執行役員、大久保豪
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