(2025年4月1日)
サステナビリティ・ニュービジネス担当（CSR担当）取締役兼常務執行役員経営企画本部長、井上智弘
常務執行役員（執行役員）総務人事部門長、佐藤卓志
常務執行役員ニュービジネス本部長（執行役員）経営企画本部副本部長、伊藤剛史
常務執行役員電子先端材料統括本部副本部長（執行役員シリコン営業部長）電子材料部門長、寺西誠治
法務グループリーダー、上南成孝
技術戦略グループリーダー（研究開発企画グループリーダー）縄田輝彦
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(2023年6月22日)
取締役、畑中好彦
常勤監査役、井津上朋保
監査役、新免和久
監査役、田中健次
退任（取締役）加瀬豊
退任（常勤監査役）福永年隆
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(2022年4月1日)
取締役アプリケーション事業統括部長（技術統括部長）吉良賢治
取締役、エンジニアリングソリューション事業部長、夫馬基代秀
監査役、塚原整
顧問（取締役アプリケーション事業統括部長）内藤昭彦
顧問（取締役経理部長）大久保晃
顧問（取締役）山口卓
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