(2023年7月4日)
大臣官房総務課長、香山弘文
会計課長、浦上健一朗
業務改革課長、福本拓也
調査統計グループ・総合調整担当参事官、竹田憲
経済産業政策局担当審議官、菊川人吾
経済産業政策局担当審議官、井上誠一郎
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(2021年9月1日)
デジタル審議官、赤石浩一
統括官、冨安泰一郎
統括官、楠正憲
統括官、村上敬亮
統括官、篠原俊博
統括官付審議官、山本和徳
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(2020年6月22日)
技術振興・大学連携推進課長、滝島勇樹
情報技術利用促進課長、田辺雄史
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(2019年7月5日)
政策立案総括審議官（官房総務課長）荒井勝喜
技術・高度人材戦略担当参事官、茂木正
官房総務課長、畠山陽二郎
会計課長、飯田健太
政策評価広報課長、横島直彦
調査統計グループ長兼政策統括調整官、太田雄彦
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