(2024年4月1日)
プラントエンジニアリングセンター副センター長兼プロジェクトソリューション統括部長（製作部長）原田幹久
ガスエンジニアリングセンター供給技術部長（中部支社技術部長）大岡寛典
中部支社技術部長（タイヨウニッポンサンソインディアバイスプレジデント）石井浩
電子機材ユニット電子機材機器事業部機器営業部長（海外営業部長）稲田真之
電子機材ユニットグローバル・プランニング部長、杉原健一
生産・物流ユニット技術統括部長、生産技術部長、高山孝治
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(2022年4月1日)
技術開発ユニット開発企画統括部開発業務部長、東智靖
技術開発ユニットつくば開発センター所長（R&D・ユニットつくば研究所副所長兼同位体プロジェクトマネジャー）神辺貴史
技術開発ユニットつくば開発センター化学合成開発部長（R&D・ユニットつくば研究所化学合成技術部長）福田健治
技術開発ユニットつくば開発センターエレクトロニクス開発部長（R&D・ユニットつくば研究所電子機材技術部長）富田修康
技術開発ユニットつくば開発センター深冷分離開発部長（R&D・ユニットつくば研究所深冷分離技術部長）木原均
技術開発ユニットつくば開発センター分析技術部長（技術統括ユニット分析技術センター所長）関哲也
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(2019年2月1日)
オンサイト・プラント事業本部プラント事業部長、ASU営業部長、稲森武則
オンサイト・プラント事業本部オンサイト事業部長、オンサイト営業部長、千田健一郎
エンジニアリング本部PEC設計部長（オンサイト・プラント事業本部オンサイト事業部長）湯沢茂
エンジニアリング本部PEC副所長（設計部長）田村雅洋
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(2017年7月1日)
エンジニアリング本部ガスエンジニアリングセンターエンジニアリング（関東支社技術部長）新田義浩
関東支社技術部長（中四国支社技術部長）原田裕司
中四国支社技術部長、松井勇児
オンサイト・プラント事業本部オンサイト事業部長（千葉サンソセンター袖ケ浦工場長）湯沢茂
メディカル事業本部バイオ・メディカル事業部営業部長、川瀬大助
ティーエムエアー生産本部営業部長、露木智一
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