(2025年6月26日)
取締役、渋谷功
取締役、丸山千名美
退任（取締役）河内和洋
退任（取締役）大森和徳
退任（取締役）片桐春美
退任（取締役）工藤研
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(2017年3月30日)
代表取締役兼常務執行役員品質・環境統括（取締役兼執行役員）品質保証本部長、糸川真人
常務執行役員事業統括（執行役員生産本部長）取締役、片山寛太郎
社外取締役、日立ハイテクノロジーズエグゼクティブアドバイザ、御手洗尚樹
取締役開発本部長（技術本部副本部長兼開発担当）執行役員、植西英史
相談役（会長）亀井慎二
退任（社外取締役）仲村巌
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(2014年6月24日)
取締役、渋谷功
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