(2019年4月1日)
コンプライアンス担当（CSR経営担当）専務、南島新
サステナブル経営担当（経営戦略担当）常務、沖勝登志
上席執行役員経営戦略担当（執行役員経営企画室長）石川義久
滋賀地区担当（総務・人事室長）執行役員、河原林正
執行役員総務・人事室長、中尾光一
執行役員CTO付特命担当（第二技術開発室長）木瀬一夫
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(2014年4月1日)
副会長（社長兼最高執行責任者）橋本正博
社長兼最高執行責任者（取締役広報ＩＲ・ＧＰＳ・Ｇ10担当）垣内永次
管理本部副本部長（経営戦略本部長兼ディ・エス・ファイナンス社長）取締役ビジネスサービスセンター長、南島新
経営戦略本部長広報ＩＲ・ＧＰＳ・Ｇ10担当（ビジネスサービスセンター副センター長兼人事Ｇ長）取締役、沖勝登志
ＦＰＤ機器Ｃ会長（ＦＰＤ機器Ｃ社長兼成膜応用技術統轄部長）常務執行役員、林隼人
同社長兼成膜応用技術統轄部長（技術開発センター副センター長兼エネルギー開発Ｇ長）上席執行役員、広江敏朗
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(2013年10月1日)
メディアアンドプレシジョンテクノロジーカンパニー新事業企画（商品開発統轄部ソフトウエア商品開発）木谷孝則
同カンパニー商品開発統轄部ソフトウエア商品開発、弘田宗正
半導体機器カンパニー開発統轄部開発一、白川元
ビジネスサービスセンタービジネスサポート、人事グループ副グループ長、深田和久
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(2013年1月1日)
半導体機器カンパニープロセス技術統轄部プロセス技術二、プロセス技術統轄部副統轄部長、森義弘
同洗浄装置技術統轄部開発設計（プロセス技術統轄部プロセス技術二）新居健一郎
ビジネスサービスセンター人事グループ人事企画、人事グループ副グループ長、深田和久
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