(2020年10月1日)
設計本部長（設計技術本部長兼デザイン部責任者）常務執行役員、滝ケ浦信一
ソリューション事業統括本部長兼技術本部長、執行役員クリーンルーム事業部長、中島力
営業統括本部市場開発本部特命本部長、執行役員、道源浩
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(2018年7月1日)
生産部門大阪工場長（開発・技術部門技術第３部長）執行役員、浦田浩之
開発・技術部門技術第３部長（生産技術部長）田島卓宏
開発・技術部門生産技術部長、大熊博幸
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(2018年4月1日)
品質保証・環境安全部管掌（羽生工場長）執行役員生産部門副部門長、寺井高史
執行役員、営業部門化成品営業本部長、太田聖也
執行役員・生産部門羽生工場長（開発・技術部門技術第１部長）浅見博
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(2015年8月1日)
生産部門吉野原工場第１製造（開発・技術部門技術第３）大田和啓之
開発・技術部門技術第３、浦田浩之
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