(2020年10月1日)
執行役員、船越和也
執行役員、大石哲
執行役員、水上幸治
執行役員、梅村裕也
執行役員、臼杵伸浩
執行役員、浦川晋吾
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(2018年4月1日)
取締役（代表取締役兼ＣＦＯ内部統制・コンプライアンス担当兼ファイナンス・リーガル・ＩＴ本部長）専務執行役員、堀哲朗
内部統制・ＣＳＲ・コンプライアンス担当（ＣＳＲ推進・人事・総務担当）取締役兼常務執行役員人事・総務本部長長、久保達也
知的財産担当、執行役員、佐々木健夫
ＴＦＦ営業部長、執行役員ＴＦＦＢＵＧＭ部長、多田新吾
東京エレクトロンテクノロジーソリューションズに出向（ＴＦＦ営業部長）水上幸治
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(2016年7月1日)
開発副本部長（開発・生産本部副本部長兼コーポレート製品開発副担当）取締役兼常務執行役員、鄭基市
開発副本部長（開発・生産本部副本部長兼塗布・洗浄担当）取締役兼常務執行役員、飽本正巳
常務執行役員グローバル・フィールド本部統括副本部長（執行役員ＳＤＢＵＧＭ）大久保豪
常務執行役員塗布・洗浄ＢＵＧＭ（執行役員ＣＴＢＵＧＭ）池田世崇
常務執行役員（執行役員）ＦＳＢＵＧＭ、春原清
成膜ＢＵＧＭ（ＴＰＳＢＵＧＭ）執行役員、多田新吾
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(2014年8月1日)
サーマルプロセスシステム営業一、水上幸治
サーマルプロセスシステム営業二（サーマルプロセスシステム営業）高村義雄
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