(2022年4月1日)
常務執行役員（執行役員）電子機材ユニット長兼基盤事業支援ユニット副ユニット長、高木正治
執行役員、経営企画・ICT・ユニット長、竹内聡一郎
電子機材ユニット副ユニット長兼電子機材海外事業部長（九州支社長）執行役員、相田智之
ガスエンジニアリングセンター長（つくば研究所長）執行役員技術開発ユニット長、武内雅弘
プラントエンジニアリングセンター副センター長兼企画業務（業務統括ユニット長）執行役員、東剛
理事 メディカルユニット長（バイオ・メディカル事業部長兼事業推進部長）古海敏恵
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(2021年11月1日)
R&Dユニットつくば研究所長、執行役員R&Dユニット長、武内雅弘
R&Dユニットつくば研究所副所長、神辺貴史
北関東支社鹿島支店長、つくば支店長、西村和明
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(2021年4月1日)
技術全般担当（エンジニアリング本部長）取締役兼専務執行役員、上原正弘
常務執行役員コーポレートユニット長（執行役員）取締役人事部長、亘聡
工業ガスユニット長兼基盤事業支援ユニット長（産業ガス事業本部長）常務執行役員ガス事業部長、栗下敏一
常務執行役員プラントエンジニアリングセンター長（執行役員エンジニアリング本部副本部長兼PEセンター所長）佐藤豊幸
常務執行役員技術統括ユニット長（執行役員技術本部長）三木健
イノベーションユニット長（イノベーション事業本部長）執行役員、小林邦裕
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(2020年10月1日)
社長、永田研二
取締役兼専務執行役員エンジニアリング本部長、上原正弘
取締役兼執行役員人事部長、亘聡
常勤監査役、池上勉
監査役、小林一也
常務執行役員関東支社長、柳田裕久
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