(2013年12月1日)
先端計測事業推進統括部長（副本部長）本部長兼Ｒ＆Ｄ統轄本部副統轄本部長、清家高志
汎用計測事業推進統括部長、副本部長兼プロダクトマーケティング兼計測器輸出営業・、横田和夫
先端計測事業推進副統括部長（先端計測事業推進統括部長）大橋健二
汎用計測事業推進副統括部長、小川幸治
同、ワイヤレスデバイス製造ソリューション・、島岳史
同（汎用計測事業推進統括部長）田河千博
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(2013年4月1日)
専務執行役員（常務執行役員）計測事業グループバイスプレジデント、フランク・ティアナン
常務執行役員環境・品質・技術総括兼環境・品質推進部担当兼技術企画室長兼知的財産部担当（執行役員Ｍ総括兼Ｍ本部長）城野順吉
同Ｍ本部副本部長（執行役員）Ｒ＆Ｄ統轄本部長、高橋敏彦
経営企画総括兼経営企画室長（環境総括兼環境推進部担当）執行役員、谷合俊澄
リスクマネジメント総括兼グローバルオーディット室・貿易管理部担当（経営企画総括兼経営企画室長）同、川辺哲雄
執行役員Ｍ総括兼Ｍ本部長兼Ｒ＆Ｄ統轄本部副統轄本部長（Ｍ本部副本部長兼汎用計測事業推進統括部長）清家高志
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