(2025年4月1日)
取締役兼常務執行役員管理部門担当兼事業統轄部長（SCREEENホールディングス上席執行役員）樋口義之
上席執行役員サプライチェーンプランニング統轄部長（執行役員PS担当）小條泰弘
執行役員東アジア担当、宮島吉宏
CSR統轄部安全保障貿易管理、今村太郎
GSS統轄部副統轄部長（生産統轄部副統轄部長兼GlobalServiceSolutions）佐光親幸
同統轄部サービス戦略（ポストセールス統轄部供給管理）GSS統轄部長、富田浩明
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(2024年4月1日)
専務執行役員経営戦略本部長、後藤正人
ADPKG事業担当（新規事業・IM事業担当）常務執行役員、大塚純二
常務執行役員技術開発戦略本部長（上席執行役員技術開発担当）吉岡正喜
人財戦略本部長（総務・人事担当）上席執行役員、白石康人
上席執行役員経営戦略本部経営企画担当（執行役員）経営企画室長、樋口義之
上席執行役員財務戦略本部長（執行役員経理・財務室長）宮川明彦
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(2020年4月1日)
第五技術開発室長、執行役員、木瀬一夫
経営企画室経営企画部長、執行役員経営企画室長、樋口義之
執行役員秘書室・サステナブル経営担当（秘書室長）朝永正雄
コーポレートマーケティング室長（GPS室長）杉本憲司
秘書室長（SCREENファインテックソリューションズ事業統轄部長）百田雅人
経営企画室製造企画部長、清水正喜
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(2019年4月1日)
コンプライアンス担当（CSR経営担当）専務、南島新
サステナブル経営担当（経営戦略担当）常務、沖勝登志
上席執行役員経営戦略担当（執行役員経営企画室長）石川義久
滋賀地区担当（総務・人事室長）執行役員、河原林正
執行役員総務・人事室長、中尾光一
執行役員CTO付特命担当（第二技術開発室長）木瀬一夫
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