(2015年4月1日)
執行役員グローバルオペレーション本部長兼生産本部長（生産本部副本部長兼生産管理部長）佐久間哲也
技術管理部長、高橋浩一
グローバル生産統括部部長（技術管理部長）二上輝
グローバル技術サービス統括部部長（グローバル技術サービス部長）森谷伸治
グローバル品質統括部部長（品質保証部長）荒井常晴
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(2014年6月27日)
会長（社長）執行役員、西村浩
社長兼執行役員（取締役兼常務執行役員グローバル技術サービス部長）営業本部長、長野高志（ながのたかし）
取締役兼執行役員経営企画部・人事総務部・経理部担当、経営企画部長兼経理部長、森琢也
執行役員、新川半導体機械股?総経理、田島寛敏
顧問（代表取締役兼専務執行役員経営企画部・人事総務部・経理部担当）田辺哲也
グローバル技術サービス部長、森谷伸治
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