(2021年10月1日)
グローバルセールス統轄部アジア営業部長、執行役員グローバルセールス統轄部長、成瀬務
HR・インフラ担当兼HR・インフラ統轄部長兼HR・経営推進部長（SCREENSPEシンガポール社長）執行役員、岡本昭彦
グローバルセールス統轄部国内営業一部長（国内営業部長）竹原正司
グローバルセールス統轄部国内営業二部長（フロンティア営業部長）五十嵐公明
技術管理部長、森田彰彦
洗浄開発統轄部統轄部長（洗浄技術統轄部洗浄技術開発部長）高橋弘明
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(2019年10月1日)
技術管理統轄部長（TS製品統轄担当兼CCS製品統轄部長）常務執行役員、田中真人
HR・インフラ統轄部インフラ推進部長（HR・インフラ部長）執行役員HR・インフラ統轄部長、今井渉
HR・インフラ統轄部HR・経営推進、馬杉耕二郎
グローバルセールス統轄部国内営業部長（アカウント営業二部長）蛯名雅彦
グローバルセールス統轄部フロンティア営業部長、グローバルセールス統轄部副統轄部長、宮島吉宏
品質統轄部品質推進部長、影山貴浩
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(2016年4月1日)
代表取締役兼社長執行役員（社長）須原忠浩
常務執行役員生産統轄担当兼ＣＣＳ製品統轄部長（洗浄技術統轄部長）取締役、後藤正人
常務執行役員技術／製品ポートフォリオ・アライアンス担当、取締役兼最高技術責任者、ヴァテール・オリヴィエ
常務執行役員開発統轄・品質統轄・彦根地区担当（取締役開発統轄部長）内田博文
常務執行役員東京地区担当（取締役製造統轄部長）安藤公人
執行役員兼ＳＣＲＥＥＮＳＰＥ台湾董事長兼総経理（ＰＳ統轄部長）西田啓二
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(2014年10月1日)
取締役兼最高技術責任者、オリヴィエ・ヴァテール
監査役、谷田研一
経営企画、岡本昭彦
統轄部長、大塚純二
副統轄部長、チャールズ・ペチュレスキー
同、ルーク・チャン
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