(2021年6月23日)
副社長（取締役）中村吉孝
常務、武山豊
取締役、野村英司
取締役、星文雄
取締役、上畑広高
取締役、森琢也
...続きを見る

(2018年6月27日)
副社長執行役員（専務執行役員）取締役新宿テクニカルセンター長、永田憲雅
専務執行役員（常務執行役員）取締役経営管理本部長兼経営企画部長、森琢也
常務執行役員（取締役兼執行役員）技術本部長兼技術管理部長、藤野昇
...続きを見る

(2015年6月26日)
専務執行役員技術本部・グローバルオペレーション本部担当（常務執行役員技術本部長）取締役、永田憲雅
常務執行役員（執行役員）取締役経営企画部長兼経理部長、森琢也
取締役技術本部長（技術本部副本部長）執行役員、藤野昇
取締役（監査役）安生一郎
常勤監査役、関口晃嗣
退任（取締役）杉本憲二
...続きを見る

(2014年6月27日)
会長（社長）執行役員、西村浩
社長兼執行役員（取締役兼常務執行役員グローバル技術サービス部長）営業本部長、長野高志（ながのたかし）
取締役兼執行役員経営企画部・人事総務部・経理部担当、経営企画部長兼経理部長、森琢也
執行役員、新川半導体機械股?総経理、田島寛敏
顧問（代表取締役兼専務執行役員経営企画部・人事総務部・経理部担当）田辺哲也
グローバル技術サービス部長、森谷伸治
...続きを見る