(2022年4月1日)
バリューチェーンソリューション事業統括本部副統括本部長（Lumada事業推進室長兼産業ソリューション事業統括本部副統括本部長）専務執行役員兼CLBO、三浦英俊
専務執行役員バリューチェーンソリューション事業統括本部長（常務執行役員兼CDO）CMO兼DXプロジェクト本部長、谷口昌弘
専務執行役員兼CSO経営戦略本部長（常務執行役員兼CTOイノベーション推進本部長）禰寝義人
CDO兼DXプロジェクト副本部長、常務執行役員アナリティカルソリューション事業統括本部長兼ライフ&メディカルシステム営業本部長、高木由充
CHRO兼CRO人事総務本部長（日立製作所人財統括本部システム&サービスCHRO兼人事総務本部長）飯塚毅
常務執行役員ナノテクノロジーソリューション事業統括本部長（執行役員ナノテクノロジーソリューション事業統括本部副統括本部長兼評価解析システム製品本部長）小室修
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(2016年4月1日)
輸出管理責任者兼サービス・ソリューション事業推進本部長、執行役専務科学・医用システム事業統括本部長、池田俊幸
ＣＴＯ、執行役電子デバイスシステム事業統括本部長、木村勝高
執行役専務リスクマネジメント責任者兼ＣＲＯ（執行役常務）ＣＦＯ財務本部長、宇野俊一
執行役常務モノづくり戦略本部長（執行役）モノづくり・品質保証責任者兼科学・医用システム事業統括本部那珂地区生産本部長、本田穣慈
日立ハイテクサイエンス社長（科学・医用システム事業統括本部科学システム営業本部長）執行役科学・医用システム事業統括本部副統括本部長、岡田務
執行役電子デバイスシステム事業統括本部副統括本部長、評価装置営業本部長、石和太
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(2014年4月1日)
新事業創生本部長（経営戦略本部長）執行役専務兼ＣＴＯ、松坂尚
ＣＦＯ、執行役常務財務本部長、宇野俊一
監査室（営業統括本部茨城支店管理）竹平純一郎
人事総務本部長（人事総務本部副本部長兼人事総務企画）疋田邦雄
同本部人事総務企画、桜井洋輔
知的財産、冨永公顕
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(2013年4月1日)
日立ハイテクフィールディング社長（モノづくり統括本部長兼モノづくり統括本部那珂地区生産本部長）執行役常務、杉山秀司
モノづくり統括本部長兼ファインテックＳ業務本部長（ファインテックＳ事業統括本部副統括本部長兼設計開発本部長）執行役、富岡秀起
監査室部長（財務本部埼玉経理）四元稔治
経営戦略本部ライフインフォマティクスセンタ長（研究開発本部企画）飯泉孝
副本部長、人事総務企画・、疋田邦雄
人財開発センタ長（那珂総務）伊藤信也
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