(2022年4月1日)
バリューチェーンソリューション事業統括本部副統括本部長（Lumada事業推進室長兼産業ソリューション事業統括本部副統括本部長）専務執行役員兼CLBO、三浦英俊
専務執行役員バリューチェーンソリューション事業統括本部長（常務執行役員兼CDO）CMO兼DXプロジェクト本部長、谷口昌弘
専務執行役員兼CSO経営戦略本部長（常務執行役員兼CTOイノベーション推進本部長）禰寝義人
CDO兼DXプロジェクト副本部長、常務執行役員アナリティカルソリューション事業統括本部長兼ライフ&メディカルシステム営業本部長、高木由充
CHRO兼CRO人事総務本部長（日立製作所人財統括本部システム&サービスCHRO兼人事総務本部長）飯塚毅
常務執行役員ナノテクノロジーソリューション事業統括本部長（執行役員ナノテクノロジーソリューション事業統括本部副統括本部長兼評価解析システム製品本部長）小室修
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(2019年4月1日)
執行役専務兼日立ハイテクファインシステムズ社長（執行役常務）モノづくり戦略本部長、本田穣慈
CFO財務本部長（CIO兼CTrO）執行役常務、桜井真司
産業ソリューション事業統括本部長（先端産業部材事業統括本部長）執行役常務、田嶋浩
執行役常務兼CDO（執行役産業システム事業統括本部長兼日立ハイテクソリューションズ社長）飯泉孝
CSO（日立ハイテクノロジーズ韓国会長）執行役、加藤仁
産業ソリューション事業統括本部副統括本部長（先端産業部材事業統括本部副統括本部長）執行役、三善慶太
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(2017年4月1日)
執行役常務兼ＣＲＯ（執行役ＣＳＲ本部長）ＣＨＲＯ人事総務本部長、堀越久志
ＣＩＯ兼ＣＴｒＯ（監査室長）執行役、桜井真司
執行役、日立ハイテクソリューションズ社長、飯泉孝
執行役科学・医用システム事業統括本部副統括本部長、科学システム製品本部長、伊東祐博
執行役科学・医用システム事業統括本部副統括本部長（科学システム営業本部長兼科学システム三部長）高木幹夫
取締役会室長、下野禎彦
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