(2014年7月1日)
経営企画本部長、デバイス事業推進室長、西崎健二
第一デバイス事業部長、木村守孝
第二ＳＬ事業部副事業部長、計測ＦＡシステム・、服部康則
経営企画本部ＳＬ事業推進室長（第一ＳＬ事業部ＩＴ基盤ＳＬ）保々俊一
総務人事本部人事、森嶋伸幸
第一ＳＬ事業部ＩＴ基盤ＳＬ、安藤孝之
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(2012年7月1日)
海外事業部長（海外統括部長）海外・、吉見直己
総務人事本部総務、井上典昭
業務統括部業務、水谷彰利
第二ソリューション事業部第一営業（東京支店長）鹿島千寿
同東京支店長、服部裕司
開発生産本部生産管理室長（製造）中原正
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