(2023年4月1日)
監査役（SCREENホールディングス経理・財務室経理部長）西垣正朗
退任（監査役）吉川敦則
CSR統轄部統轄部長、執行役員事業統轄部長兼経営推進部長、岡本昭彦
CSR統轄部安全保障貿易管理部長（CSR部長）小松裕樹
CSR統轄部安全衛生推進部長、内田伸
CSR統轄部ESG推進部長、吾子健一郎
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(2019年10月1日)
技術管理統轄部長（TS製品統轄担当兼CCS製品統轄部長）常務執行役員、田中真人
HR・インフラ統轄部インフラ推進部長（HR・インフラ部長）執行役員HR・インフラ統轄部長、今井渉
HR・インフラ統轄部HR・経営推進、馬杉耕二郎
グローバルセールス統轄部国内営業部長（アカウント営業二部長）蛯名雅彦
グローバルセールス統轄部フロンティア営業部長、グローバルセールス統轄部副統轄部長、宮島吉宏
品質統轄部品質推進部長、影山貴浩
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(2019年4月1日)
取締役、石川義久
監査役、島純子
退任（取締役）沖勝登志
退任（取締役）灘原壮一
退任（取締役）近藤洋一
執行役員、グローバルセールス統轄部長兼アカウント営業一部長、成瀬務
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