(2024年7月1日)
開発生産本部・コーポレート生産本部担当兼業務改革DX推進プロジェクトリーダー、副社長兼コーポレートオフィサーコーポレート生産本部ディビジョンオフィサー、佐々木貞夫
GlobalBusinessPlatform本部・ファイナンス本部担当（GlobalBusinessPlatform本部長兼業務改革プロジェクトリーダー兼内部統制担当兼TELMagneticSolutionsMemberoftheBoard兼TokyoElectronIndiaMemberoftheBoard）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、長久保達也
AccountSales本部担当（AccountSales本部長兼TokyoElectronUSHoldingsMemberoftheBoard兼TokyoElectronKorea理事）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、池田世崇
CorporateInnovation本部担当（SPE事業本部長）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、三田野好伸
GlobalSales本部・GlobalCustomerEngineering本部担当（GlobalSales本部長兼DSS事業本部長）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、大久保豪
常務執行役員前工程事業本部ディビジョンオフィサー（執行役員ESBUGM）コーポレートオフィサー、石田博之
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(2023年7月1日)
CorporateInnovation本部デジタルデザインセンター長、副本部長、横森憲敬
CorporateInnovation本部デジタルデザインセンター副センター長兼システム開発部長（SDCシステム開発部長）戸田哲哉
CorporateInnovation本部DX企画推進部長（デジタルトランスフォーメーション推進部長）松山科子
アプリケーション開発一部長、魚山和哉
アプリケーション開発二部長、飯嶋織行
先端技術開発一部長（SDCAI開発部長）松沢貴仁
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(2021年10月1日)
Certas戦略企画部長、浅井一男
エッチングシステム営業三部長、松永幹也
エッチングシステムプロダクトマーケティング室長、持木宏政
CorporateInnovation本部SDCシステム開発部長（SDC装置開発部長）戸田哲哉
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(2020年10月1日)
ITユニットGM（IT本部長）執行役員業務改革プロジェクトサブリーダー兼業務改革推進二部長、七沢豊
人事総務ユニットGM兼総務部長（人事部長）土井信人
人事部長、河野通尚
法務コンプライアンスユニットGM兼法務部長（総務部長）阿曽達也
ファイナンスユニットGM、経理部長兼財務部長、笹川謙
情報システム部長、山田浩由
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