(2021年4月1日)
CTO（デジタルソリューションズ事業部担当）代表取締役兼社長執行役員兼CEO、馬立稔和
CAO兼CRO経営管理本部長（人事・総務本部長兼リスク管理・経営監査部担当）代表取締役兼専務執行役員、小田島匠
経営監査部・サステナビリティ戦略部・ITソリューション本部担当、取締役兼専務執行役員兼CFO、徳成旨亮
常務執行役員兼CMO（執行役員半導体装置事業部副事業部長）生産本部長、石塚伸之
常務執行役員社長室長兼光学本部担当（同光学本部長）大村泰弘
執行役員、半導体装置事業部開発統括部長、森田真弘
...続きを見る

(2020年11月1日)
光学本部副本部長（第一開発部長）恩田稔
光学本部第一開発部長、竹内淳
...続きを見る

(2018年6月1日)
新事業開発本部企画管理部長、上田英樹
光学本部第一開発部長、恩田稔
半導体装置事業部営業第二部長、青木秀浩
半導体装置事業部開発統括部次世代開発部長（第一開発部長）森田真弘
半導体装置事業部開発統括部第一開発部長、依田安史
半導体装置事業部開発統括部第二開発部長、一ノ瀬剛
...続きを見る