(2019年10月1日)
NM開発室担当兼NM開発室長（事業開発室担当）取締役、塩尻和也
頂正科技監査人、取締役、前野隆一
執行役員、経営戦略室長、前川隆
執行役員・頂正科技出向・董事長（頂正科技出向・総経理）平井健策
執行役員、生産本部長、橋本昌典
執行役員事業開発室担当兼事業開発室長（事業推進室長）中村一志
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(2016年10月1日)
取締役相談役（会長）石田敬輔
事業開発室・開発部・知財グループ担当（技術開発本部長）取締役、塩尻和也
顧問、野上良忠
フォトマスク事業本部営業本部長（営業本部副本部長）吉田豊
フォトマスク事業本部生産本部長（頂正科技総経理）橋本昌典
京都工場長（滋賀工場長）フォトマスク事業本部生産本部副本部長、平尾匡
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(2014年10月1日)
技術開発本部長（開発部担当）取締役、塩尻和也
執行役員（顧問）向田泰久
生産本部京都工場長（滋賀工場長）生産本部長、平井健策
事業推進室長（生産本部副本部長兼京都工場長）中村一志
生産本部滋賀工場長（滋賀工場副工場長）平尾匡
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(2013年10月1日)
開発部・品質保証部担当（営業本部担当）取締役、塩尻和也
フォトマスク事業本部長、執行役員、上野篤雄
頂正科技総経理（生産本部長兼技術部統括）橋本昌典
生産本部長（生産本部副本部長）滋賀工場長、平井健策
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