(2023年3月下旬)
取締役、常務執行役員兼CRO、上口啓一
取締役、東京エレクトロンデバイス取締役、常石哲男
退任（取締役）丸山寿
退任（取締役）酒井浩志
退任（取締役）尾嶋正治
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(2022年6月21日)
退任（取締役）常石哲男
退任（取締役）長久保達也
退任（取締役）春原清
退任（取締役）池田世崇
退任（取締役）三田野好伸
退任（取締役）チャールズ・ディトマース・レイク二世
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(2022年6月21日)
コーポレートオフィサー、社長兼CEOCorporateInnovation本部長、河合利樹
コーポレートオフィサー、代表取締役兼専務執行役員第一開発生産本部長兼第四開発生産本部長兼コーポレート生産本部長兼山梨事業所長、佐々木貞夫
取締役会議長（専務執行役員GlobalBusinessPlatform本部長兼内部統制担当）取締役、布川好一
コーポレートオフィサーGlobalBusinessPlatform本部長兼内部統制担当（取締役GlobalBusinessPlatform本部副本部長兼東京エレクトロンBP取締役兼東京エレクトロンエージェンシー取締役）常務執行役員長、久保達也
コーポレートオフィサー（取締役）常務執行役員AccountSales本部長、池田世崇
コーポレートオフィサー（取締役）常務執行役員SPE事業本部長、三田野好伸
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(2015年6月19日)
会長（副会長兼執行役員ＣｏｒｐｏｒａｔｅＳｔｒａｔｅｇｙ・ＩＲ担当）常石哲男
社長（会長兼社長）ＣＥＯ、東哲郎
副社長兼ＣＯＯ事業推進統括本部長兼ビジネスユニット本部長（執行役員ＳＰＳＢＵＧＭ）河合利樹
グローバル・フィールド統括本部長（ＳＰＥ事業担当兼ＳＰＥ営業統括本部長兼ＥＳＢＵＧＭ）取締役兼専務執行役員、伊東晃
常務執行役員グローバル・フィールド統括本部副本部長（執行役員コーポレート開発本部／ＡＴＳ／ＦＰＤ／ＰＶＥ担当）取締役、鷲野憲治
同ファイナンス・リーガル本部長兼ＩＲ・コンプライアンス・内部統制担当（同コーポレート管理本部副本部長）同、堀哲朗
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