(2019年6月25日)
常務執行役員（取締役兼常務執行役員）藤原五男
常務執行役員（取締役兼常務執行役員）CTO兼研究開発本部長、平賀靖英
常務執行役員（取締役兼常務執行役員）市原雄一
常務執行役員（取締役兼常務執行役員）調達本部長、平田正治郎
常務執行役員（取締役兼常務執行役員）藤本靖博
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(2019年4月1日)
専務執行役員（執行役員）管理本部長、安高純一郎
専務執行役員（執行役員）グローバル事業本部長、本郷仁基
専務執行役員（執行役員）事業本部長、黒田健治
常務執行役員事業本部担当（執行役員装置事業部長）藤原五男
常務執行役員（執行役員）CTO研究開発本部長、平賀靖英
常務執行役員事業本部担当（執行役員事業本部長）市原雄一
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(2018年4月1日)
調達本部長（事業本部長）取締役兼執行役員、田中敏治
事業本部長（調達本部長兼品質管理担当）取締役兼執行役員、黒田健治
事業本部長（熊本事業部長）取締役兼執行役員、市原雄一
製造・デバイスセンター担当（事業本部デバイスセンター長）取締役兼執行役員、平田正治郎
管理本部経営企画担当（経営企画部長）執行役員、兼子利憲
事業本部熊本第一事業部長（熊本事業部第一システム部長）前田繁
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(2014年6月26日)
取締役、執行役員事業本部装置事業部長兼第二装置・、藤原五男
同、執行役員、平賀靖英
同、同事業本部営業・、本郷仁基
同、同調達本部長、黒田健治
同、同事業本部熊本事業部長、市原雄一
同、雀部博之
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