(2024年11月1日)
CorporateInnovation本部次世代パターニングプロジェクトリーダー、山口忠之
CorporateInnovation本部テクノロジービジョン&環境ストラテジー部長（テクノロジービジョン&ストラテジー部長）川内拓男
CorporateInnovation本部環境担当GM、執行役員CorporateInnovation本部ディビジョンオフィサー、瀬川澄江
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(2024年7月1日)
開発生産本部・コーポレート生産本部担当兼業務改革DX推進プロジェクトリーダー、副社長兼コーポレートオフィサーコーポレート生産本部ディビジョンオフィサー、佐々木貞夫
GlobalBusinessPlatform本部・ファイナンス本部担当（GlobalBusinessPlatform本部長兼業務改革プロジェクトリーダー兼内部統制担当兼TELMagneticSolutionsMemberoftheBoard兼TokyoElectronIndiaMemberoftheBoard）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、長久保達也
AccountSales本部担当（AccountSales本部長兼TokyoElectronUSHoldingsMemberoftheBoard兼TokyoElectronKorea理事）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、池田世崇
CorporateInnovation本部担当（SPE事業本部長）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、三田野好伸
GlobalSales本部・GlobalCustomerEngineering本部担当（GlobalSales本部長兼DSS事業本部長）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、大久保豪
常務執行役員前工程事業本部ディビジョンオフィサー（執行役員ESBUGM）コーポレートオフィサー、石田博之
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(2023年4月1日)
DSS事業本部長（フィールドソリューション事業本部長）コーポレートオフィサー兼専務執行役員GlobalSales本部長、大久保豪
DSSBUGM（FSBUGM）執行役員、石田寛
DSSBUGM（FPDBUGM兼ファインコーティングプロセス部長）帰山武郎
システムマーケティング部長、熊井寿和
SPEシステム部長（フィールドソリューション一部長）宇城満山
ディスプレイシステム部長（ドライプロセス部長）川野雅史
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