(2022年4月1日)
技術開発ユニット開発企画統括部開発業務部長、東智靖
技術開発ユニットつくば開発センター所長（R&D・ユニットつくば研究所副所長兼同位体プロジェクトマネジャー）神辺貴史
技術開発ユニットつくば開発センター化学合成開発部長（R&D・ユニットつくば研究所化学合成技術部長）福田健治
技術開発ユニットつくば開発センターエレクトロニクス開発部長（R&D・ユニットつくば研究所電子機材技術部長）富田修康
技術開発ユニットつくば開発センター深冷分離開発部長（R&D・ユニットつくば研究所深冷分離技術部長）木原均
技術開発ユニットつくば開発センター分析技術部長（技術統括ユニット分析技術センター所長）関哲也
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(2021年4月1日)
工業ガスユニットLPガス事業部LPガス営業部長（エネルギー事業本部企画業務部長）森井宏明
電子機材ユニット電子機材機器事業部電子機材供給機器技術部長（産業ガス事業本部電子機材機器事業部電子機材機器技術部長）金子正
電子機材ユニット電子機材環境機器技術部長、川端宏文
基盤事業支援ユニット品質保証部長（産業ガス事業本部品質管理部長）米村孝則
メディカルユニットバイオ・メディカル事業部医療ガス営業部長（メディカル事業本部バイオ・メディカル事業部ガス営業部長）川瀬大助
メディカルユニットバイオ・メディカル事業部技術部長、竹内弘次
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(2019年10月1日)
管理本部主計部長、田中和文
管理本部グループ会計部長、吉田隆志
技術本部保安・環境統括部環境管理部長、石川隆一
開発本部デジタルソリューションセンター副所長兼デジタル革新推進部長（電気技術部長）岸田太
開発本部デジタルソリューションセンターデジタル技術部長（シミュレーション技術部長）北村祐一郎
産業ガス事業本部電子機材海外事業部事業部長（電子機材機器海外営業部長）粟津武幸
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(2015年4月1日)
開発・エンジニアリング本部山梨研究所プロセス技術、飛弾野龍也
同技術サポートセンター電気技術、岸田太
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