(2016年6月28日)
取締役、片岡明典
取締役、根本直子
取締役、橋本孝之
常任監査役（取締役）松原和弘
常勤監査役、鈴木健一
監査役、加藤宣明
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(2014年6月20日)
取締役、執行役員、生田斉彦
同、山口千秋
相談役（会長）岩田義文
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(2013年6月26日)
代表取締役（取締役）専務執行役員経営戦略本部長、勝野哲
取締役、常務執行役員静岡支店長、小野田聡
取締役、執行役員流通本部工務部長、松浦昌則
取締役、岩田義文
専務執行役員（取締役兼専務執行役員）経営戦略本部副本部長、増田義則
専務執行役員（取締役兼専務執行役員）環境・立地本部長、山崎広美
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(2013年6月18日)
取締役、執行役員、上小川昭浩
同、東京エレクトロン副会長、常石哲男
同、協和エクシオ社長、石川国雄
監査役（取締役）中村隆
同、福森久美
執行役員管理副本部長（監査役）浅野升徳
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