(2024年7月1日)
取締役（専務）白忠烈
常務執行役員（上席執行役員）コンポーネント事業本部長、申周勲
常務執行役員開発本部未来技術研究所長兼知財・マテリアル事業推進担当（上席執行役員グローバル技術戦略担当）開発本部長、清田淳也
上席執行役員（執行役員中国ビジネス担当）高橋信次
執行役員、装置事業本部電子機器事業部長、岩井治憲
執行役員、装置事業本部半導体装置事業部長、岩沢宏明
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(2014年7月1日)
経営企画室グローバル市場・技術戦略室長（半導体電子技術研究所長）鄒弘網
経営企画室広報・ＩＲ室長、鈴木憲明
技術開発部要素技術開発部長（ＭＥＭＳ研究室長）前平謙
技術開発部メカトロ開発部長（メカトロコンポーネント開発部長）佐藤誠一
半導体電子技術研究所副所長（超材料研究所第２研究部長）谷典明
半導体電子技術研究所副所長（企画管理部長）樋口靖
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