(2024年4月1日)
代表取締役兼社長執行役員兼SCREENElectronicsShanghai董事長兼SCREENSPETaiwan董事長（執行役員事業統轄部長兼経営推進）CSR統轄部長、岡本昭彦
取締役（代表取締役兼社長執行役員兼SCREENElectronicsShanghai董事長兼SCREENSPETaiwan董事長）後藤正人
DX担当兼IT統轄部長、取締役兼常務執行役員経営戦略統轄部長、石村学
退任（取締役）石川義久
常務執行役員装置戦略担当（上席執行役員SCM担当）長谷川公二
生産・SCM・PS担当（製造担当）執行役員、小條泰弘
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(2023年4月1日)
監査役（SCREENホールディングス経理・財務室経理部長）西垣正朗
退任（監査役）吉川敦則
CSR統轄部統轄部長、執行役員事業統轄部長兼経営推進部長、岡本昭彦
CSR統轄部安全保障貿易管理部長（CSR部長）小松裕樹
CSR統轄部安全衛生推進部長、内田伸
CSR統轄部ESG推進部長、吾子健一郎
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(2022年4月1日)
上席執行役員GSO担当兼SCREENSPEUSA会長（執行役員営業担当兼グローバルセールス統轄部長兼アジア営業兼欧米星営業部長）成瀬務
上席執行役員SCM担当兼ポストセールス統轄部長（執行役員製造担当）長谷川公二
CSR担当兼事業統轄部経営推進部長（HR・インフラ担当）執行役員事業統轄部長兼戦略人事部長、岡本昭彦
執行役員製造担当、びわこ工場長、小條泰弘
CSR部長、小松裕樹
マネジメントシステムサポート部長（品質統轄部EHS推進部長）渋川潤
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(2021年10月1日)
グローバルセールス統轄部アジア営業部長、執行役員グローバルセールス統轄部長、成瀬務
HR・インフラ担当兼HR・インフラ統轄部長兼HR・経営推進部長（SCREENSPEシンガポール社長）執行役員、岡本昭彦
グローバルセールス統轄部国内営業一部長（国内営業部長）竹原正司
グローバルセールス統轄部国内営業二部長（フロンティア営業部長）五十嵐公明
技術管理部長、森田彰彦
洗浄開発統轄部統轄部長（洗浄技術統轄部洗浄技術開発部長）高橋弘明
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