(2014年6月27日)
マイクロスコープ・ソリューション事業部長兼マーケティング部長、執行役員、中村温巳
執行役員映像事業部開発統括部長兼基礎技術開発部長、山本哲也
執行役員経営戦略本部事業戦略部長、杉本直哉
経営監査部長（財務・経理本部財務部ゼネラルマネジャー）鶴見淳
経営戦略本部企画部長、平野真嗣
メディカル事業推進本部第一開発部長（新事業開発本部医療機器開発部ゼネラルマネジャー）松本広行
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(2012年6月1日)
半導体露光装置事業部長（営業本部長）執行役員副プレジデント、馬立稔和
企画本部長、事業企画部ゼネラルマネジャー、小田島匠
企画本部サービス戦略部ゼネラルマネジャー（営業本部営業管理部ゼネラルマネジャー）宮岡久泰
半導体露光装置事業部営業本部長（生産本部製造管理部ゼネラルマネジャー）山石裕之
半導体露光装置事業部営業本部営業第三部ゼネラルマネジャー、荘司真理
半導体露光装置事業部生産本部長補佐兼製造管理部ゼネラルマネジャー（営業本部サービス戦略部ゼネラルマネジャー）石塚伸之
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