(2014年4月1日)
事業本部長兼冷熱事業部長（ＦＡ・環境システム事業本部長兼ＩＴ・施設システム事業部長）常務、春日井孝道
副事業本部長（半導体・デバイス事業本部第二事業部長）取締役、渡辺康雄
副事業本部長（半導体・デバイス事業本部第一統括部長）取締役、有田和昭
副事業本部長兼ＦＡ事業部長（ＦＡ・環境システム事業本部ＦＡＳ事業部長兼ソリューション統括部長）取締役、山崎秀治
副事業本部長、正垣信雄
グローバル戦略統括部事業企画部長（半導体・デバイス事業本部グローバル戦略統括部戦略企画部長）大竹俊裕
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(2013年4月1日)
ＦＡ・環境システム事業本部ソリューション統括部長、取締役ＦＡ・システム事業部長、山崎秀治
半導体・デバイス事業本部第二事業部長（第一営業本部長）取締役、渡辺康雄
半導体・デバイス事業本部第一統括部長（産業デバイス営業本部長）取締役、有田和昭
海外事業推進室東南アジア戦略局長、東京支社ＦＡ・システム第二部長、常盤泰丸
海外事業推進室東アジア戦略局長、与五沢一元
ＦＡ・環境システム事業本部グローバル戦略統括部長、企画部長、中村真敏
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(2012年4月1日)
半導体・デバイス事業本部第一営業本部長（半導体・デバイス第二営業本部長）取締役、渡辺康雄
ＦＡ・環境システム事業本部環境・ソリューション第一部長、八道啓一
ＦＡ・環境システム事業本部環境・ソリューション第二部長、鶴山和彦
ＦＡ・環境システム事業本部環境・ソリューション第三部長、加藤光明
半導体・デバイス事業本部第一営業本部営業計画部長、有田義則
関西支社環境・施設第二部長、香島由則
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