(2024年11月1日)
CorporateInnovation本部次世代パターニングプロジェクトリーダー、山口忠之
CorporateInnovation本部テクノロジービジョン&環境ストラテジー部長（テクノロジービジョン&ストラテジー部長）川内拓男
CorporateInnovation本部環境担当GM、執行役員CorporateInnovation本部ディビジョンオフィサー、瀬川澄江
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(2017年4月1日)
開発・生産本部開発戦略部長（開発企画部長）瀬川澄江
開発・生産本部コーポレート技術マーケティング部長（東京エレクトロン九州統括部長兼プロセス技術部長）山口忠之
開発・生産本部革新技術企画室長（開発・生産本部 革新技術企画室室長代理）岩渕勝彦
プロセスインテグレーションセンター長（開発・生産本部コーポレートプロジェクト部 プロジェクトリーダー）稲垣直樹
開発・生産本部開発戦略部担当部長（戦略推進部長）山口光行
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