(2017年10月1日)
ビジネス本部グローバルセールス統轄部韓国営業部長、執行役員グローバルセールス統轄部長、山田光浩
経営戦略統轄部業務改革推進部長、経営戦略統轄部長兼経営管理部長・、石村学
びわこ工場長（経営戦略統轄部副統轄部長兼業務改革推進部長）藤井康徳
びわこ工場副工場長、山口康成
ビジネス本部ＣＣＳ製品統轄部装置管理部長、野地正博
ビジネス本部ＣＣＳ製品統轄部特命担当副統轄部長、佐藤誠一郎
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(2014年4月1日)
副会長（社長兼最高執行責任者）橋本正博
社長兼最高執行責任者（取締役広報ＩＲ・ＧＰＳ・Ｇ10担当）垣内永次
管理本部副本部長（経営戦略本部長兼ディ・エス・ファイナンス社長）取締役ビジネスサービスセンター長、南島新
経営戦略本部長広報ＩＲ・ＧＰＳ・Ｇ10担当（ビジネスサービスセンター副センター長兼人事Ｇ長）取締役、沖勝登志
ＦＰＤ機器Ｃ会長（ＦＰＤ機器Ｃ社長兼成膜応用技術統轄部長）常務執行役員、林隼人
同社長兼成膜応用技術統轄部長（技術開発センター副センター長兼エネルギー開発Ｇ長）上席執行役員、広江敏朗
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