(2017年10月1日)
技術戦略本部副本部長兼先端半導体技術部門グローバルＲ＆Ｄ担当（先端半導体技術部門担当）執行役員、関口章久
技術戦略本部情報技術戦略部門ビジネスイノベーション担当（同部門ビジネスイノベーション担当）同コーポレートプロジェクト部長・、西垣寿彦
第一開発生産本部システム開発部門担当（システム開発センター長）執行役員、田原計志
第一開発生産本部装置開発兼ＡＩ開発部長（東京エレクトロン宮城ソフト技術開発部長）石沢繁
第一開発生産本部システム開発部長（第一開発生産本部システム開発センター）松田克彦
第一開発生産本部ＰＦ開発部長（第一開発生産本部システム開発センター担当部長）堀内孝
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(2017年4月1日)
開発・生産本部開発戦略部長（開発企画部長）瀬川澄江
開発・生産本部コーポレート技術マーケティング部長（東京エレクトロン九州統括部長兼プロセス技術部長）山口忠之
開発・生産本部革新技術企画室長（開発・生産本部 革新技術企画室室長代理）岩渕勝彦
プロセスインテグレーションセンター長（開発・生産本部コーポレートプロジェクト部 プロジェクトリーダー）稲垣直樹
開発・生産本部開発戦略部担当部長（戦略推進部長）山口光行
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(2016年7月1日)
開発・生産本部アカウントテクノロジー部長兼グローバルＲ＆Ｄ部長（ＢＵプロジェクト部長兼グローバル開発センター長兼技術マーケティング部長）執行役員、関口章久
開発・生産本部コーポレートプロジェクト部長、執行役員、西垣寿彦
開発・生産本部戦略推進部長（開発企画室長）山口光行
開発・生産本部開発企画部長（開発企画室室長代理）瀬川澄江
開発・生産本部アカウントテクノロジー部担当部長（技術マーケティング部部長代理）早川崇
開発・生産本部アカウントテクノロジー部担当部長（東京エレクトロン東北パートナービジネスデベロップメント部統括部長）石田博之
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(2012年10月1日)
ＭＲＡＭプロジェクト準備室長（開発企画室長）塚本雄二
開発企画室長（新事業企画室長）山口光行
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