(2024年3月1日)
技術本部管掌兼技術本部長（技術戦略本部管掌兼技術戦略本部長兼応用開発第一兼応用開発第二部長）取締役兼常務執行役員、佐野修
営業統括本部長兼デバイス事業本部管掌（半導体・デバイス事業本部管掌）取締役兼常務執行役員、大橋充幸
ソリューション第三第七ビジネスユニット担当（ソリューション第五第七ビジネスユニット担当）執行役員ソリューション事業本部長、辻井幸弘
ソリューション第一第二ビジネスユニット担当（ソリューション第一第四ビジネスユニット担当）執行役員ソリューション事業本部長、関沢正人
デバイス事業本部長（半導体・デバイス事業本部長）執行役員オペレーション部長、小泉修司
技術本部応用開発部長（技術戦略本部応用開発第一部長）三輪功
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(2021年2月1日)
代表取締役兼社長執行役員（社長経営企画本部管掌）中村守孝
経営企画本部管掌、代表取締役兼専務執行役員、脇清
常務執行役員（上席執行役員）取締役、岡崎靖
常務執行役員（上席執行役員）取締役、安田誠樹
常務執行役員（上席執行役員）取締役、田辺正昭
常務執行役員（上席執行役員海外戦略本部管掌）取締役、玉越義紹
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