(2022年4月1日)
MS事業担当、社長兼社長執行役員、渡辺武雄
執行役員（FA・システム事業本部機器本部機器三部長）機器本部長、角村太典
執行役員FA・システム事業本部FA機器事業部長（神戸FA機器本部神戸FA部長）神戸FA機器本部長兼神戸支店長、池田啓之
執行役員FA・システム事業本部FA・システム戦略事業部FA・システム本部長（FA事業企画室長兼FA・システム営業部長）FA・システム戦略事業部長、南本隆吏
執行役員半導体デバイス事業外資半導体デバイス第二本部外資半導体デバイス二部長、外資半導体デバイス第二本部長、小西健司
FA・システム事業本部FA・システム技術事業部技術本部技術業務部長、技術本部長兼情報技術部長、向井裕晃
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(2018年4月1日)
執行役員、産業メカトロニクス本部長、永安悟
執行役員（技術本部情報技術部長）技術本部長、佐野博行
ＦＡ企画室ＦＡ企画部長（ＦＡ企画室ＦＡ業務部ＦＡ業務課長）山根昭彦
技術本部制御技術部長（技術本部システム開発部システム開発課長）山口真治
技術本部情報技術部長、システム開発部長・、向井裕晃
技術本部名古屋技術部長（技術本部システム開発部技術担当部長）佐藤芳照
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(2015年4月1日)
施設戦略室長、執行役員、米田浩
ＦＡ・Ｓ推進（ＦＡ・Ｓ推進二）堤泰夫
ＦＡ第一本部機器二（名古屋支社ＦＡ第六本部名古屋機器）加藤正人
ＦＡ第三本部ＦＡ・Ｓ一（同名古屋ＦＡ・Ｓ一）加藤隆司
半導体Ｄ企画、松永卓
半導体技術本部長兼半導体品質管理室長（半導体技術二兼半導体技術開発プロジェクトリーダー）山下忍
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(2013年4月1日)
ＦＡ第二本部東関東支店長、執行役員ＦＡ第二本部長、山口均
半導体デバイス国内担当（国内半導体デバイス担当）執行役員、高見貞行
ＭＳ事業担当（海外本部・ＥＭＳ推進部担当）同、植田裕和
技術本部技術、寺島豊典
ＦＡシステム推進一、吉川恵章
半導体技術本部半導体技術開発プロジェクトリーダー、半導体技術二・、山下忍
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