(2020年6月中旬)
取締役兼常務執行役員（常務）ターゲット事業本部長兼LEO事業本部長、安部研吾
常務執行役員、取締役営業本部長兼オーダーセンター長、和田厚生
執行役員、取締役、久保和広
監査役（専務）今北毅
顧問（常務技術本部長）河合孝哉
常務執行役員技術本部長（取締役技術本部副本部長兼材料ソリューション事業部長）松本修
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(2017年6月16日)
常務（取締役）ＬＥＯ事業本部長、住江伸吾
常務（取締役）ターゲット事業本部長、楠本栄典
営業本部長（営業本部副本部長兼東京営業部長）取締役、中村好規
取締役技術本部副本部長兼加古川事業所長、神鉄事業所長、安部研吾
取締役、坂本浩一
監査役（常務技術本部副本部長兼高砂事業所長）寺沢優一
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(2015年6月22日)
専務技術本部長（常務ターゲット事業本部長）小宮幸久
常務（取締役）技術本部副本部長兼高砂事業所長、寺沢優一
ターゲット事業本部長（技術本部副本部長兼エレクトロニクス事業部長兼技術）取締役、楠本栄典
事業開発室担当、取締役、今北毅
取締役技術本部副本部長、材料評価事業部長、森川裕文
同技術本部副本部長、エンジニアリングメカニクス事業部長、河合孝哉
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(2014年6月23日)
専務営業本部名古屋支店長（常務大阪支店長）営業本部長兼営業統括部長、斎藤総一郎
技術本部副本部長、取締役技術本部高砂事業所長、寺沢優一
監査室・総務部・企画管理部担当（営業本部副本部長兼名古屋支店長）取締役、今北毅
取締役、ＬＥＯ事業本部長、住江伸吾
同技術本部副本部長（エレクトロニクス事業部物理解析センター長）エレクトロニクス事業部長兼技術・、楠本栄典
取締役、神戸製鋼所経営企画部担当部長、梅田浩
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