(2025年4月1日)
社長、武田聡
副社長、佐野吉邦
取締役PMI推進室長、楓淳一
取締役三田事務所長、加茂井薫
取締役PMI推進副室長、重野俊浩
取締役コーポレートサービスユニット長、塩川智宏
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(2024年4月1日)
取締役製作所システム事業部長（製作所システム事業部副事業部長）小原嘉昭
取締役技術統括部長、宮本照雄
取締役企画部長（営業統括部副統括部長）橋本憲一
取締役ネットワーク事業部長（ネットワーク事業部副事業部長）田中謙吾
取締役、塩川智宏
常任監査役、松田進
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(2023年6月29日)
監査役、今井賢一郎
退任（監査役）宮本照雄
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(2022年4月1日)
監査部次長（経理部次長）池田誉
経営企画室副室長、小黒誠司
経営企画室副室長、後藤公久
情報セキュリティ統括室長（生産システム本部設計システム技術センター長）宮本照雄
輸出管理部長（半導体・デバイス事業本部高周波光デバイス製作所営業部長）坂本善史
輸出管理部次長、今村裕子
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