(2024年4月1日)
専務執行役員経営戦略本部長、後藤正人
ADPKG事業担当（新規事業・IM事業担当）常務執行役員、大塚純二
常務執行役員技術開発戦略本部長（上席執行役員技術開発担当）吉岡正喜
人財戦略本部長（総務・人事担当）上席執行役員、白石康人
上席執行役員経営戦略本部経営企画担当（執行役員）経営企画室長、樋口義之
上席執行役員財務戦略本部長（執行役員経理・財務室長）宮川明彦
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(2022年1月1日)
経理・財務室財務部長（経理部長）執行役員経理・財務室長、宮川明彦
経理・財務室経理部長、西垣正朗
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(2021年4月1日)
専務広報・IR担当（常務）最高財務責任者、近藤洋一
シニアフェロー（最高技術責任者）常務、灘原壮一
常務執行役員事業企画・IM事業担当兼コーポレートマーケティング室長（SCREENセミコンダクターソリューションズ執行役員兼SCREENSPEGermany社長）大塚純二
常務執行役員（上席執行役員）石川義久
上席執行役員（執行役員）吉岡正喜
経理・財務室経理部長、執行役員経理・財務室長、宮川明彦
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(2019年6月25日)
会長（社長兼最高経営責任者）垣内永次
社長兼最高経営責任者（SCREENファインテックソリューションズ会長）廣江敏朗（ひろえ　としお）
常務（取締役）安藤公人
取締役、高須秀視
常任監査役（執行役員経理・財務室長）太田祐史
顧問（常任監査役）宮脇達夫
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