(2025年4月1日)
常務執行役員財務戦略本部長（SCREENセミコンダクターソリューションズ取締役兼常務執行役員）石村学
経営戦略本部本部長兼経営企画室長（財務戦略本部長）上席執行役員、宮川明彦
経営戦略本部IT室長、ITプラットフォーム部長、西村聡
経営戦略本部IT室プロセス変革推進部長（SCREENセミコンダクターソリューションズIT統轄部IT戦略部長）東田美登里
経営戦略本部IT室IT推進部長（SCREENセミコンダクターソリューションズIT統轄部IT推進部長）田中靖二
サステナビリティ戦略本部サステナビリティ企画室長（サステナビリティ推進室長）島田清孝
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(2024年4月1日)
専務執行役員経営戦略本部長、後藤正人
ADPKG事業担当（新規事業・IM事業担当）常務執行役員、大塚純二
常務執行役員技術開発戦略本部長（上席執行役員技術開発担当）吉岡正喜
人財戦略本部長（総務・人事担当）上席執行役員、白石康人
上席執行役員経営戦略本部経営企画担当（執行役員）経営企画室長、樋口義之
上席執行役員財務戦略本部長（執行役員経理・財務室長）宮川明彦
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(2022年1月1日)
経理・財務室財務部長（経理部長）執行役員経理・財務室長、宮川明彦
経理・財務室経理部長、西垣正朗
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(2021年4月1日)
専務広報・IR担当（常務）最高財務責任者、近藤洋一
シニアフェロー（最高技術責任者）常務、灘原壮一
常務執行役員事業企画・IM事業担当兼コーポレートマーケティング室長（SCREENセミコンダクターソリューションズ執行役員兼SCREENSPEGermany社長）大塚純二
常務執行役員（上席執行役員）石川義久
上席執行役員（執行役員）吉岡正喜
経理・財務室経理部長、執行役員経理・財務室長、宮川明彦
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