(2021年6月下旬)
会長（社長）谷川薫
社長（取締役兼専務執行役員）宮部佳也（みやべ　よしや）
取締役（会長）下嶋政幸
監査役、稲葉喜子
退任（監査役）宮地主
執行役員電子・デバイス副部門長、半導体装置兼電子統括室長、藤田彰彦
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(2015年6月下旬)
取締役兼専務執行役員（常務執行役員）電子・デバイス部門長、谷川薫
取締役、片山誠一
監査役（農林中央金庫業務監査）小川荘平
監査役、花屋敷ゴルフ倶楽部監査役、宮地主
退任（取締役）村尾哲朗
退任（監査役）岡本司
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