(2024年7月1日)
開発生産本部・コーポレート生産本部担当兼業務改革DX推進プロジェクトリーダー、副社長兼コーポレートオフィサーコーポレート生産本部ディビジョンオフィサー、佐々木貞夫
GlobalBusinessPlatform本部・ファイナンス本部担当（GlobalBusinessPlatform本部長兼業務改革プロジェクトリーダー兼内部統制担当兼TELMagneticSolutionsMemberoftheBoard兼TokyoElectronIndiaMemberoftheBoard）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、長久保達也
AccountSales本部担当（AccountSales本部長兼TokyoElectronUSHoldingsMemberoftheBoard兼TokyoElectronKorea理事）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、池田世崇
CorporateInnovation本部担当（SPE事業本部長）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、三田野好伸
GlobalSales本部・GlobalCustomerEngineering本部担当（GlobalSales本部長兼DSS事業本部長）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、大久保豪
常務執行役員前工程事業本部ディビジョンオフィサー（執行役員ESBUGM）コーポレートオフィサー、石田博之
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(2023年7月1日)
後工程事業本部長（後工程事業本部副本部長）常務執行役員、秋山啓一
常務執行役員（執行役員）GlobalSales本部副本部長、神永文彦
常務執行役員（執行役員）GlobalBusinessPlatform本部副本部長兼ファイナンスユニットGM兼財務・、川本弘
人事総務ユニットGM、執行役員法務コンプライアンスユニットGM、阿曽達也
執行役員第二開発生産本部長、CorporateInnovation本部副本部長、神原弘光
執行役員、ES副BUGM、樋口公博
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(2019年6月18日)
第四開発生産本部長兼EHS・品質・調達・生産技術部門担当兼山梨事業所長、取締役兼専務執行役員第一開発生産本部長、佐々木貞夫
業務改革プロジェクト担当兼業務改革プロジェクトリーダー（業務改革プロジェクト副担当兼業務改革プロジェクトサブリーダー）取締役兼常務執行役員フィールドソリューション事業本部長、春原清
取締役兼専務執行役員ファイナンス本部・輸出物流管理本部・内部統制担当（常勤監査役）布川好一
エグゼクティブアドバイザー（取締役兼専務執行役員）飽本正巳
常務執行役員業務改革プロジェクト・グローバルコミュニケーション担当（同兼専務執行役員業務改革プロジェクト副担当）業務改革プロジェクトサブリーダー、堀哲朗
常務執行役員（執行役員）FPD事業本部長兼新製品プロジェクト部長、松浦次彦
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