(2020年10月1日)
コア技術開発本部本部長兼製品開発部長（生産プロセス革新本部ケミカル技術研究室部長）星野智久
コア技術開発本部要素技術開発部長（生産プロセス革新本部要素技術研究室部長）大岡直樹
コア技術開発本部マイクロ波研究開発部長（経営企画本部研究開発部長）越川正一
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