(2024年4月1日)
専務執行役員経営戦略本部長、後藤正人
ADPKG事業担当（新規事業・IM事業担当）常務執行役員、大塚純二
常務執行役員技術開発戦略本部長（上席執行役員技術開発担当）吉岡正喜
人財戦略本部長（総務・人事担当）上席執行役員、白石康人
上席執行役員経営戦略本部経営企画担当（執行役員）経営企画室長、樋口義之
上席執行役員財務戦略本部長（執行役員経理・財務室長）宮川明彦
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(2023年4月1日)
新規事業担当（事業企画担当）常務執行役員、大塚純二
上席執行役員水素関連事業担当（SCREENファインテックソリューションズ上席執行役員エネルギー事業担当）吉野裕文
滋賀地区担当、執行役員、百田雅人
執行役員コーポレートマーケティング担当、コーポレートマーケティング室長、檜垣吉秀
IT企画室IT企画部長、西村聡
同ITセキュリティ部長（SCREENセミコンダクターソリューションズ経営戦略統轄部IT推進部長）小林知之
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(2021年4月1日)
専務広報・IR担当（常務）最高財務責任者、近藤洋一
シニアフェロー（最高技術責任者）常務、灘原壮一
常務執行役員事業企画・IM事業担当兼コーポレートマーケティング室長（SCREENセミコンダクターソリューションズ執行役員兼SCREENSPEGermany社長）大塚純二
常務執行役員（上席執行役員）石川義久
上席執行役員（執行役員）吉岡正喜
経理・財務室経理部長、執行役員経理・財務室長、宮川明彦
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(2017年4月1日)
ＨＲ・インフラ統轄担当兼ビジネス本部長、代表取締役兼社長執行役員、須原忠浩
びわこ工場担当（ＣＣＳ製品統轄部長）取締役兼常務執行役員、後藤正人
アライアンス担当（開発統轄・彦根地区担当）常務執行役員、内田博文
社長オフィス長、執行役員、野口裕美
執行役員ＣＣＳ製品統轄部長（開発統轄部長）田中真人
執行役員兼ＳＣＲＥＥＮＳＰＥＧｅｒｍａｎｙ社長（シニア・ストラテジー・エグゼクティブ兼ＣＴＯ室長）大塚純二
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