(2024年7月1日)
開発生産本部・コーポレート生産本部担当兼業務改革DX推進プロジェクトリーダー、副社長兼コーポレートオフィサーコーポレート生産本部ディビジョンオフィサー、佐々木貞夫
GlobalBusinessPlatform本部・ファイナンス本部担当（GlobalBusinessPlatform本部長兼業務改革プロジェクトリーダー兼内部統制担当兼TELMagneticSolutionsMemberoftheBoard兼TokyoElectronIndiaMemberoftheBoard）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、長久保達也
AccountSales本部担当（AccountSales本部長兼TokyoElectronUSHoldingsMemberoftheBoard兼TokyoElectronKorea理事）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、池田世崇
CorporateInnovation本部担当（SPE事業本部長）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、三田野好伸
GlobalSales本部・GlobalCustomerEngineering本部担当（GlobalSales本部長兼DSS事業本部長）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、大久保豪
常務執行役員前工程事業本部ディビジョンオフィサー（執行役員ESBUGM）コーポレートオフィサー、石田博之
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(2024年4月1日)
ファイナンスユニット副ユニットGM兼貿易管理部長（輸出・物流管理部長）河田伸幸
販売物流管理部長、奥村知宏
法務コンプライアンスユニットGM補佐兼コーポレートガバナンス部長（法務部長）真藤誠
法務部長、知的財産部長、佐久間健
財務部長（リスクマネジメント室長）宗像均
アカウント戦略企画部長、インテグレーション企画部長、大久保和哉
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(2019年7月1日)
CorporateInnovation本部長代理（CorporateMarketing担当）常務執行役員、堤秀介
CorporateInnovation本部DigitalTransformation担当（CorporateMarketing情報技術担当）執行役員、西垣寿彦
CorporateInnovation本部副本部長兼アライアンス戦略室長、関口章久
プロセスインテグレーションセンター長、大久保和哉
コーポレート技術マーケティング部長、早川崇
SDC装置開発部長（システム開発センター長）石沢繁
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(2012年4月1日)
直需部担当、常務住器建材カンパニー長、伊東善光
品質保証部担当兼環境安全（近畿統括）上席執行役員、村瀬元康
総合企画部経営企画グループ長（品質保証部担当兼環境安全）執行役員情報システム・、堀田益之
建装材カンパニー生産統括部長（化成品カンパニー生産統括部長兼生産企画兼甚目寺工場長）執行役員、森良二
知的財産室長、松本正幸
事業部長（Ｒ＆Ｄセンター丹波研究所長）石井直美
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